HOME ´º½º Á¾ÇÕ
¸ÓÅ©, ALD ¼ÒÀç °øÁ¤ ±â¼ú¹ßÀü¿¡ '½ºÆä¼È ¾î¿öµå' ¼ö¿©ÇѾç´ë ¹ÚÁø¼º ±³¼ö, ¹ÚÅÂÁÖ ±³¼ö ¼ö»óÀÚ·Î ¼±Á¤...÷´Ü ALD ÇٽɼÒÀç ¿¬±¸ °øÀû »ê¾÷¹ßÀü ±â¿©
  • Á¤ºÎÀç ±âÀÚ
  • ½ÂÀÎ 2021.11.17 09:29
  • ´ñ±Û 0

[ÁÖ°£ÄÚ½º¸Þƽ Á¤ºÎÀç ±âÀÚ] ¼±µµÀûÀÎ °úÇбâ¼ú ±â¾÷ÀÎ ¸ÓÅ©ÀÇ Çѱ¹ Áö»çÀÎ Çѱ¹¸ÓÅ© (´ëÇ¥ÀÌ»ç ±è¿ì±Ô¹Ú»ç)°¡ ¹ÝµµÃ¼¿Í µð½ºÇ÷¹ÀÌ »ê¾÷ÀÇ ¹ßÀüÀ» °¡Á®¿Â ¿¬±¸°³¹ß ¾÷ÀûÀ» ±â¸®±â À§ÇÑ Æ¯º°»óÀÇ ¼ö»óÀÚ¸¦ ¹ßÇ¥Çß´Ù.

'¸ÓÅ© ½ºÆä¼È ¾î¿öµå'´Â Â÷¼¼´ë ÀüÀÚ±â¼úÀ» À§ÇÑ ALD(¿øÀÚÃþÁõÂø) ¼ÒÀç ¹× °øÁ¤ÀÇ °³¼±À» ÅëÇØ ±â¼úÀûÀ¸·Î Å©°Ô ±â¿©ÇÑ Çѱ¹ ÇѾç´ëÇб³ ½Å¼ÒÀç°øÇаúÀÇ ¹ÚÁø¼º ±³¼ö¿Í Àç·áÈ­ÇаøÇаúÀÇ ¹ÚÅÂÁÖ ±³¼ö°¡ ¼ö»óÇß´Ù.

¾Æ³­µå ³²ºñ¾Æ ¸ÓÅ© ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ºñÁî´Ï½ºÀÇ ±Û·Î¹ú ´ëÇ¥´Â ¼ö»óÀÚ¸¦ ÃàÇÏÇÏ¸ç “¿­Á¤°ú ²ö±â¸¦ °¡Áø ¸¹Àº ¿¬±¸ÀÚµéÀÌ ÀüÀÚ»ê¾÷ÀÇ ²÷ÀÓ¾ø´Â Çõ½ÅÀ» À§ÇØ ¶Ù¾î³­ °ø·Î¸¦ ¼¼¿ì°í ÀÖ´Ù. À̴ ƯÈ÷ ¼¼°èÀÇ ÁÖ¿ä ±â¼ú Çãºê Áß ÇϳªÀÎ Çѱ¹¿¡¼­ µÎµå·¯Áö°Ô ³ªÅ¸³­´Ù. º» »óÀÇ ¼ö¿©¸¦ ÅëÇØ ±àÁ¤ÀûÀÎ Â÷À̸¦ ¸¸µé¾î ³»´Â ½ÅÁø ¹× Áß°ß ¿¬±¸ÀÚÀÇ ¾÷ÀûÀ» ±â¸®°Ô µÇ¾î ¿µ±¤”À̶ó°í ÀüÇß´Ù.

±è¿ì±Ô Çѱ¹¸ÓÅ© ´ëÇ¥ÀÌ»ç´Â “¸ÓÅ©°¡ Çѱ¹¿¡¼­ »ç¾÷À» ¿µÀ§ÇÑ Áö 32³âÀ» ¸ÂÀÌÇÏ´Â Áö±Ý, µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿Í ¹ÝµµÃ¼°¡ ÁÖµµÇÏ´Â ÀüÀÚ»ê¾÷Àº µðÁöÅÐ µð¹ÙÀ̽º¿Í ±â¼ú ¼ö¿ä Áõ°¡¿¡ ÈûÀÔ¾î Àü¼¼°èÀûÀ¸·Î ºü¸£°Ô ¹ßÀüÇÏ°í ÀÖ´Ù”°í °­Á¶ÇÏ¸ç “¾ÕÀ¸·Î ¸ÓÅ©´Â Áö¼ÓÀûÀ̸ç È°¹ßÇÑ ³»ºÎ Çõ½Å°ú ¿¬±¸°øµ¿Ã¼¿ÍÀÇ Çù¾÷À» ÅëÇØ ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ÇコÄɾî, »ý¸í°úÇÐ µî »õ·Î¿î ºÐ¾ß¿¡¼­ °úÇÐÀû ¼º°ú¸¦ ÅëÇØ Çѱ¹ °í°´»çµéÀÇ ¼ºÀåÀ» Áö¿øÇÒ ¿¹Á¤”À̶ó°í µ¡ºÙ¿´´Ù.

ÇѾç´ëÇб³ÀÇ ¹ÚÁø¼º ±³¼ö´Â Á¤º¸¼ÒÀç ¹× ÀüÀÚ¼ÒÀÚ ¿¬±¸½ÇÀåÀ» °âÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç IEEE Transactions on Electron DevicesÀÇ ÆíÁýÀåÀ» ¸Ã°í ÀÖ´Ù. ¹Ú ±³¼ö´Â ÷´Ü ALD ¹× CVD(È­Çбâ»óÁõÂø) ¹Ú¸· ÀÀ¿ëÀ» À§ÇÑ ÇٽɼÒÀç ¿¬±¸ÀÛ¾÷À¸·Î ÀÎÁ¤À» ¹Þ¾Ò°í, Çѱ¹ Á¤º¸ µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÇÐȸ(Korea Information of Display Society)ÀÇ º¸µå¸â¹ö·Î µð½ºÇ÷¹ÀÌ »ê¾÷ ¹ßÀü¿¡ ´ëÇØ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ±â¿© ÁßÀÌ´Ù. ¹ÚÁø¼º ±³¼öÀÇ ¿¬±¸½ÇÀº µð½ºÇ÷¹ÀÌ µð¹ÙÀ̽º¿ë Åõ¸íÀü±Ø¼ÒÀ糪 ÆûÆÑÅÍ ÇÁ¸® µð½ºÇ÷¹ÀÌ µð¹ÙÀ̽º¸¦ À§ÇÑ ¹Ú¸· ÀÎĸ½¶·¹ÀÌ¼Ç ¼ÒÀç µî Â÷¼¼´ë IT µð¹ÙÀ̽º ±¸ÇöÀ» À§ÇÑ ¼ÒÀç ¹ß±¼¿¡ ÁýÁßÇÏ°í Àִµ¥ “ALD ¼ÒÀç ¹× °øÁ¤À¸·Î ¸ÓÅ© ½ºÆä¼È ¾î¿öµå¸¦ ¹Þ°Ô µÇ¾î ¸Å¿ì ¿µ±¤À̸ç, ÀÌ ºÐ¾ß¿¡ ±â¿©ÇϽŠÀü¼¼°èÀÇ ¼±¹è¿Í ÈĹè ALD ¿¬±¸ÀÚ ºÐµé¿¡°Ô ±íÀÌ °¨»ç“¸¦ ÀüÇϸ鼭, “ALD ¼ÒÀç¿Í °øÁ¤À» ¹ÝµµÃ¼¿Í µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¾÷°è¿¡ Æø³Ð°Ô Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ°Ú´Ù“°í ¼ö»ó¼Ò°¨À» ÀüÇß´Ù.

ÇѾç´ëÇб³ ERICAÀÇ ¹ÚÅÂÁÖ ±³¼ö´Â ³ª³ë¼ÒÀÚ°øÇבּ¸½Ç, ¿øÀÚ¼öÁØ°øÁ¤·½Å¼ÒÀڷ÷´Ü ALD ¿¬±¸¼¾ÅÍ, ÇѾç´ëÇб³ IUCC¿Í ÇÔ²² Çѱ¹ÇмúÁøÈïÀç´ÜÀÇ ¿µ¿ª¼±ÅÃÀû ¿øÀÚÃþ°øÁ¤ ¼¾ÅÍ(Center for Area-Selective Atomic Layer Processes)¿¡¼­ ¿¬±¸ÁßÀ¸·Î ÷´Ü ALD ±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸¸¦ ÀÎÁ¤ ¹Þ¾Ò´Ù. ¹Ú ±³¼ö´Â Çѱ¹ÀÇ ÀþÀº ALD Àü¹® ±³¼öµéÀ» À̲ø¸ç, ¹èÅ͸®¿Í CMP ½½·¯¸®¸¦ À§ÇÑ ºÐ¸» ALD °øÁ¤¿¡ ÁßÁ¡À» µÎ°í ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º¸¦ À§ÇÑ ALD °øÁ¤°ú ºÐ¼®¿¬±¸¿¡ ÁýÁßÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¹Ú±³¼ö´Â “¸ÓÅ©ÀÇ »óÀ» ¼ö»óÇÑ °ÍÀº Å« ¿µ±¤À¸·Î, À̹ø ¼ö»óÀÌ ¾ÕÀ¸·Î ALD ºÐ¾ß¿¡¼­ ¸ÓÅ©¿Í Æø³Ð°Ô Çù¾÷ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±âȸ°¡ µÇ¾úÀ¸¸é ÁÁ°Ú´Ù“´Â °¨»çÀÇ ¼Ò°¨À» ÀüÇß´Ù.

¸ÓÅ© ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º ºñÁî´Ï½º´Â À¯·´, ¾Æ½Ã¾Æ ±×¸®°í, ¹Ì±¹¿¡¼­ ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º ±â¼ú¼¾ÅÍ(Electronics Technology Center)¸¦ ¿î¿µ ÁßÀÌ´Ù. ÇÙ½É ½ÃÀå¿¡¼­ÀÇ ¿¬±¸°³¹ß ³×Æ®¿öÅ©¸¦ ÅëÇØ ÀÌ·ç¾î ³½ °úÇбâ¼úÀÇ ¹ßÀüÀº Áö±Ý±îÁö ¸ÓÅ©°¡ °í°´»ç ¿·¿¡¼­ ½Å·Ú¹Þ´Â Çõ½Å ÆÄÆ®³Ê°¡ µÉ ¼ö ÀÖ¾ú´ø ¿øµ¿·ÂÀÌ´Ù. ÇöÀç, ¸ÓÅ© Á¦Ç°Àº °ÅÀÇ ¸ðµç ÀüÀÚ±â±â¿¡ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. µ¥ÀÌÅÍ ±â¹ÝÀÇ ¼¼»ó¿¡¼­ Çö´ë »çȸ´Â ±â´ÉÀûÀÎ °í¼º´ÉÀÇ ±â¼ú ÀÎÇÁ¶ó¸¦ ¿ä±¸ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ·¯ÇÑ ¿ä±¸Á¶°ÇÀº 5G, ºò µ¥ÀÌÅÍ¿Í °°ÀÌ ¼ºÀå ÁßÀÎ Æ®·»µå¿Í ´õºÒ¾î ÀÚÀ²ÁÖÇà, »ç¹°ÀÎÅͳÝ(IoT)¿Í °°Àº È°¿ë ºÐ¾ß¿¡¼­ÀÇ ±Þ¼ÓÇÑ ¹ßÀü¿¡ µû¶ó Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ³ô¾ÆÁø´Ù. ¸ÓÅ©´Â ¿þÀÌÆÛ ÇÁ·Î¼¼½Ì °øÁ¤ÀÇ ¸ðµç ÇÙ½É Á¦Á¶ ´Ü°è(ÆÐÅÍ´×, ÁõÂø, Æòźȭ, ½Ä°¢, ¼¼Á¤, ÁÖÀÔ, ÆÐŰ¡)¿¡ ÇÊ¿äÇÑ Á¦Ç°À» °ø±ÞÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ¸ÓÅ©ÀÇ ½Ç¸®ÄÜ ¹ë¸® Çõ½Å ÇãºêÀÎ ÀÎÅ͸ô·¹Å§·¯¿¡¼­´Â ÷´Ü ¼ÒÀ縦 Å×½ºÆ®ÇÏ°í °³¹ßÇÏ¿© ÀηùÀÇ »îÀ» ´õ ÆíÇÏ°í, Áñ°Ì°í, »ý»êÀûÀ¸·Î ¹Ù²Ù´Â Â÷¼¼´ë ÀüÀÚ±â¼úÀÇ Çõ½ÅÀ» ÀÏÀ¸Å°°í ÀÖ´Ù.

Á¤ºÎÀç ±âÀÚ  boojae@geniepark.co.kr

<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © Á¦´ÏÆÄÅ©, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>

Á¤ºÎÀç ±âÀÚÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â
±â»ç ´ñ±Û 0°³
Àüüº¸±â
ù¹ø° ´ñ±ÛÀ» ³²°ÜÁÖ¼¼¿ä.
¿©¹é
¿À´ÃÀÇ ÁÖ¿ä´º½º
'¿¡ÀÌŬ¶õ Ä«¹Ö·Î¼Ç'À¸·Î ¸Å´º¾ó Å×Å©´Ð
'¿¡ÀÌŬ¶õ Ä«¹Ö·Î¼Ç'À¸·Î ¸Å´º¾ó Å×Å©´Ð
Èĸ£µð¾Æ ûÆ÷µµ Å©¸² È÷Æ® ¿¹°¨
Èĸ£µð¾Æ ûÆ÷µµ Å©¸² È÷Æ® ¿¹°¨
¿©¹é
Back to Top